基板

《薄膜陶瓷基板工厂设计标准》GB/T 51453-2024 是针对薄膜陶瓷基板工厂工程建设的设计规范，涵盖了新建、扩建和改建的工程设计。该标准包含了一系列技术要求，旨在确保技术先进、安全适用、经济合理以及环保节能。标准的主要内容包括：总则：规定了设计内容、设计深度和厂房设施的基本要求 。术语：定义了薄膜、薄膜陶瓷基板、蒸发、溅射、光刻、刻蚀、激光调阻等术语 。总体设计：包括厂址选择、总图规划及布局等要求 。工艺设计：涉及工艺流程设计、工艺区划、基...